實聯精密化學澄清資料 (桃園新聞網-大台灣新聞網)

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報載本公司新產品矽乙烷(DiSilane)已交台積電進行認證乙節，實屬誤植。經查本公司高純度矽乙烷(DiSilane)已於4月底順利產出，目前正持續調整參數提高純度至半導體級純度需求，積極爭取3個月內提送國內、外半導體業者新進製程驗證，目前尚未提送台積電認證，特此說明。

本公司除原生產之矽甲烷(Silane)已穩定供應國內半導體、面板及光電產業外，自去(2021)年下半年起陸續推出一氯矽烷(Mono-Chloro Silane, MCS)及二氯矽烷(Di-Chloro Silane, DCS)等高純度特殊氣體外。經過不斷精進，在今(2022)年4月底已順利試產矽乙烷(DiSilane)，在未經純化狀況下初始純度已達99%以上，目前正持續調整操作參數，計畫在3個月內提高純度至99.99%以上，再提供國內、外半導體先進製程驗證。

實聯精密化學表示，該公司一直以高科技產業「最忠實的在地供應鏈」自居，對於長時間依賴進口的特殊氣體(如Silane、DiSilane、MCS、DCS等)堅持自主研發生產，目前已經是國內唯一可在地生產含氯矽烷(MCS及DCS)的廠商，對於穩定高科技產業製程原料供應，具指標性意義。後續將持續推出高純度矽乙烷(DiSilane)，甚而未來繼續純化供應矽丙烷(TriSilane)，提高製程磊晶效率。

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